单项选择题

CVD TiN TDMAT的载气是（）。

A.He
B.Ar
C.N2
D.O2

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单项选择题
蒸发台真空度的要求一般（）。

A.≤9E-7torr
B.≥9E-7torr
C.≤9E-5torr
D.≥9E-5torr
单项选择题
溅射中用于轰击靶材的气体是（）。

A.Ar
B.He
C.N2
D.O2
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