单项选择题

以下磷（P）源属于气态源的是（）。

A.POCl₃
B.P₂O₅
C.PH₃
D.PCl₃

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热门试题

单项选择题

‌以下哪一项不属于扩散的局限性？（）

A.工艺简单
B.高温、深结
C.不能独立控制结深和浓度
D.横向扩散

单项选择题

扩散的杂质分布包括（）和有限表面源分布。

A.无限表面源分布
B.杂质总量分布
C.恒定表面源分布
D.表面源分布

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