晶圆检测工艺中，遇到需要加温的晶圆时，需要在扎针调试完后再对晶圆进行加温。

以全自动探针台为例，在上片过程中，需注意花篮位置放置准确，否则有可能导致晶圆探针错位、破片。 点击查看答案

以全自动探针台为例，花篮的卡槽与承重台密贴时，承重台上的位置指示灯亮。 点击查看答案