以下不是影响刻蚀质量的主要因素是（）。‎‎​‎

下列有关集成电路发展趋势的描述中，不正确的是（）。​‎​

A.特征尺寸越来越小
B.晶圆尺寸越来越小
C.电源电压越来越低
D.时钟频率越来越高

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体现集成电路工艺技术水平的关键技术指标是：（）。‍‍‍

A.特征尺寸
B.器件数量
C.互连线长度
D.互连线层数

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