单项选择题

WCVD工艺第一步是（）。

A.浸润
B.成核
C.BULK
D.直接反应

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单项选择题
Liner barrier阻挡金属间扩散作用的金属是（）。

A.金属Al
B.金属钛
C.金属氮化钛
D.金属钨
单项选择题
掺氯氧化使用的HCL是（）。

A.液态源
B.固态源
C.气态源
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