简答题 简述西门子法制备高纯多晶硅的原理，及其反映方程式？

【参考答案】

原理是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上，形成高纯多晶硅的工艺。
反应......

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