多项选择题
A.热扩散法B.离子注入法C.热氧化法D.真空蒸镀
A.磷B.硼C.硅D.氮
A.湿法刻蚀是各向同性的,干法刻蚀是各向异性的B.湿法刻蚀由于存在侧蚀现象,不宜制作很微细的图形C.干法刻蚀效果好,但工艺要求高D.干法和湿法刻蚀都不存在晶体缺陷和污染等物理损伤