多项选择题
A.磷B.硼C.硅D.氮
A.湿法刻蚀是各向同性的，干法刻蚀是各向异性的B.湿法刻蚀由于存在侧蚀现象，不宜制作很微细的图形C.干法刻蚀效果好，但工艺要求高D.干法和湿法刻蚀都不存在晶体缺陷和污染等物理损伤
A.摇动B.超声C.振动吹泡D.过滤