单项选择题

湿法刻蚀与干法刻蚀的比较错误的是()。

A.湿法刻蚀是各向同性的,干法刻蚀是各向异性的
B.湿法刻蚀由于存在侧蚀现象,不宜制作很微细的图形
C.干法刻蚀效果好,但工艺要求高
D.干法和湿法刻蚀都不存在晶体缺陷和污染等物理损伤