单项选择题

湿法刻蚀过程中为了减少药液中刻蚀产物的杂质采用什么办法？（）

A.摇动
B.超声
C.振动吹泡
D.过滤

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单项选择题
为什么要进行浅沟道刻蚀硅？（）

A.美观
B.隔离元器件
C.降低工艺难度
单项选择题
离子注入法要求掺杂导电型杂质，因此必须进行怎样操作？（）

A.电离
B.加热
C.蒸发
D.粉化处理
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