单项选择题

掺氯氧化使用的HCL是（）。

A.液态源
B.固态源
C.气态源

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单项选择题

二氧化硅中每个硅原子周围有（）个氧原子。

A.1
B.2
C.3
D.4

单项选择题

以下哪项不是STI工艺气体？（）

A.SiH₄
B.O₂
C.N₂O
D.Ar

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