填空题

湿法腐蚀的特点是（）、（）、（）、（）。

【参考答案】

选择比高；工艺简单；各向同性；线条宽度难以控制
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填空题
湿法腐蚀Si所用溶液有（）、（）等，腐蚀SiO2常用的腐蚀剂是（），腐蚀Si3N4常用的腐蚀剂是（）。
填空题
控制湿法腐蚀的主要参数有（）、（）、（）、（）等。
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