简答题 何谓氧化增强扩散，发散区推进效应？产生机理是什么？

【参考答案】

在热氧化过程中原存在硅内的某些掺杂原子显现出更高的扩散性，称为氧化增强扩散。机理：氧化诱生堆垛层错产生大量自填隙Si，间......

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