问答题

简答题 制作硅栅具体步骤是什么？

【参考答案】

生长缓冲层、沟道区注入、离子注入、CVD工艺淀积多晶硅、多晶硅掺杂、光刻和刻蚀形成多晶硅栅的图形。

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