问答题

简答题 影响显影的主要因素？

【参考答案】

曝光时间、前烘的温度和时间、光刻胶的膜厚、显影液的浓度、显影液的温度、显影液的搅动情况

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

问答题
光刻工艺包括哪些工艺？
问答题
何为分辨率、对比度、IC制造对光刻技术有何要求？
相关试题