通常在硅单晶生产清洗中所用的纯水，25℃时电阻率在（）欧姆•厘米以上，但是此种水仍含有1毫克/升的杂质。

纯水又叫去离子水，即除去（）、（）和（）等杂质的水。 点击查看答案

目前单晶硅生产中主要采用（）和（）制取高纯水。 点击查看答案