问答题

简答题 沿<111>方向生长硅单晶与沿<100>方向生长硅单晶热场有何不同?为什么不同?

【参考答案】

晶体各向异性,不同的生长方向生长速度不同。因此,直拉单晶硅按不同方向生长,热场的纵向温度梯度不同。
拉< 100......

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