简答题 简述硅单晶研磨清洗的重要性。

【参考答案】

硅片清洗的重要性：硅片表面层原子因垂直切片方向的化学键被破坏成为悬挂键，形成表面附近的自由力场，极易吸附各种杂质，如颗粒......

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