以下哪项不是STI工艺气体？（）

CMP清洗部分的顺序是（）。

A.兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）-Brush（刷洗）
B.兆声清洗（Meg）-Brush（刷洗）-SRD（甩干）
C.Brush（刷洗）-兆声清洗（Meg）-SRD（甩干）
D.Brush（刷洗）-SRD（甩干）-兆声清洗（Meg）

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高电流注入机的扫描方式为（）。

A.静电扫描
B.机械扫描
C.静电扫描与机械扫描结合

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