问答题
简答题 多晶硅熔完后,无任何机械振动干扰,熔硅表面发生波动的现象,称为温度振荡,简要描述产生温度振荡的原因?
【参考答案】
坩埚中的熔硅某点的温度是变化的,除了受加热温度和散热条件等因素影响外,熔硅中的不稳定对流也会引起温度变化。充分的对流往往......
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所谓“跳硅”,指熔硅在坩埚中沸腾现象。跳硅厉害时熔硅跳出坩埚外,飞溅在加热器、保温罩、石墨托碗和单晶炉壁上,使石墨器件损坏,严重硅跳会烧坏单晶炉底。分析产生跳硅的原因,并给出适当的解决办法?
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