问答题

简答题 离子注入主要部件有哪些？

【参考答案】

有离子源、磁分析器、加速器、扫描器、偏束板和靶室。

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

问答题
离子注入后为何退火？
问答题
离子注入后退火的作用是什么？
相关试题