两步工艺分为预淀积（预扩散）、再分布（主扩散）两步，预淀积是惰性气氛下的（）。‍

以下不是扩散工艺的重要参数是（）。‎

A.表面浓度
B.杂质类型
C.结深
D.掺入杂质总量

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固相扩散是通过微观粒子一系列随机跳跃来实现的，主要有三种方式。如下不是固相扩散方式的是（）。‎

A.间隙式扩散
B.替位式扩散
C.热运动
D.间隙—替位式扩散

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