单项选择题
A.元器件的组成部分(如栅氧化层)B.源漏极C.互连层间绝缘介质D.作为掩蔽膜
A.几何设计规则是版图图形编辑的依据B.几何设计规则是设计系统生成版图的依据C.几何设计规则是分析计算的依据D.几何设计规则是检查版图错误的依据
A.粘附性B.刻蚀温度C.刻蚀时间D.刻蚀槽的高度