单项选择题
不同压力下,气体的流动状态可以分(),粘滞流和介于两者之间的过渡状态。
A.分子流
B.原子流
C.紊流
D.层流
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单项选择题
以下哪一个不是连续薄膜的生长方式?()
A.熔结
B.原子填充
C.吞并
D.原子团迁移
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单项选择题
液态TEOS源是采用载流气体鼓泡方式携带,例如N2、O2、He,而P1102.TEOS工艺是采用()进入反应炉。
A.N
2
B.O
2
C.He
D.水浴饱和蒸汽
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