多项选择题
A.检查喷水吹气位置是否正确 B.查看吸盘表面是否干净 C.工作时观察晶圆清洗后表面有无水汽残留 D.观察吸盘安装是否到位有无松动与找边SENSOR配合位置准确
A.用手接触风机外壳感觉无抖动现象 B.目检电源线是否接插 C.检查开关打开后是否工作 D.目检出风口是否有打火等异常
A.目检压力表指示值 B.目检滤芯是否需更换 C.目检压力表温度指示值 D.听干燥机有无异常声音目检有无渗漏现象