多项选择题
A.检查润滑油的流量和存储量指示浮标必须在标定的记号线以上 B.润滑油流量和存储量达到设备规定的指示以上 C.检查有无漏油现象 D.润滑油和过滤网在设备运行一年后或者运行时间超过8000小时后需要更换
A.检查紧固松动部件和螺丝 B.检查真空吸嘴有无老化破损 C.检查各部位是否完好,状态有无异常。 D.检查同步带是否松动
A.观察Table面是否平整完好 B.检查紧固松动部件和螺丝 C.放置晶圆,打开真空,检查晶圆吸附后W/FTABLE真空开关显示真空大小。 D.放置框架,打开真空,检查贴片框架吸附真空大小。