单项选择题
以下不属于真空蒸发的局限性的是()。
A.生长机理简单
B.工艺重复性
C.台阶覆盖能力差
D.薄膜与衬底附着力小
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单项选择题
以下不属于电子束加热的优点的是()。
A.蒸发温度高
B.工艺设备简单
C.热效率高
D.高纯度淀积
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单项选择题
以下不属于真空蒸发过程的是()。
A.气相输运
B.薄膜淀积
C.薄膜定向
D.加热蒸发
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