什么是化学气相沉积; 化学气相沉积名词解释定义是什么?

【参考答案】

乃是通过化学反应的方式，利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经......

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