单项选择题
A、干法清洗B、湿法清洗C、超声清洗D、等离子体清洗
A.AsH3掺杂的砷源B.BF3、BCl3掺杂的硼源C.NH3工艺气体D.N2,Ar,He
A、还原法B、氧化法C、悬浮区熔法D、直拉法