物质的第四种形态是（）。

RCA清洗属于（）清洗方法。

A、干法清洗
B、湿法清洗
C、超声清洗
D、等离子体清洗

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下面气体中不属于特种气体的是（）。

A.AsH₃掺杂的砷源
B.BF₃、BCl₃掺杂的硼源
C.NH₃工艺气体
D.N₂，Ar，He

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