单项选择题

电弧放电蒸发法的优点有（）。

A.可以蒸发金属、半导体、陶瓷等各种无机材料
B.不会引起蒸发源辐射作用而造成基片温度的提高
C.电弧放电会飞溅出微米级大小的电极材料的微粒，从而保护膜层
D.蒸发源温度均匀稳定，不易产生蒸发料的飞溅现象

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

单项选择题
蒸发源是用来加热膜料使其汽化蒸发的部件。目前，真空蒸发使用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、（）、电弧加热和激光加热等五大类。

A.太阳能加热
B.辐射加热
C.高频感应加热
D.蒸汽加热
单项选择题
物理气相沉积主要包含的类型有真空蒸镀、离子镀、（）。

A.等离子射流喷镀
B.复合镀
C.离子溅射
D.刷镀法
相关试题