单项选择题

蒸发源是用来加热膜料使其汽化蒸发的部件。目前,真空蒸发使用的蒸发源主要有电阻加热、电子束加热、()、电弧加热和激光加热等五大类。

A.太阳能加热
B.辐射加热
C.高频感应加热
D.蒸汽加热