多项选择题

‏PECVD中，等离子体的激励方式有（）。

A.电子回旋共振
B.直流电场
C.微波耦合
D.射频电场

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热门 试题

多项选择题
不同压力下，气体的流动状态可以分为（）。

A.粘滞流
B.粒子流
C.过渡流
D.分子流
单项选择题
欲在一批小尺寸的基板上用小平面源蒸发沉积厚度一致的薄膜，基板相对于蒸发源应该放置在（）。

A.与小舟相切的球面上
B.与小舟垂直的球面上
C.与基板平行的方向上
D.与基板垂直的方向上
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