单项选择题
A.栅极长度 B.漏极宽度 C.栅极宽度 D.以上都不是
A.对光刻精度较高 B.光刻图案密度较高 C.光刻的材料易于腐蚀 D.光刻的材料难以腐蚀
A.腐蚀 B.离子注入 C.光刻 D.CVD