单项选择题

在清洁的超高真空环境下,是具有一定热能的一种或多种分子束流喷射到晶体衬底,在衬底表面发生反应的成膜的技术是()

A.化学气相沉积
B.离子束辅助沉积
C.多弧离子镀
D.分子束外延

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热门 试题

单项选择题
两极间接上射频电源后,两极间等离子体中的正离子轰击靶材、溅射出靶材原子从而沉积在基板表面成膜的技术是()

A.直接三级溅射
B.磁控溅射
C.射频溅射
D.直流二级溅射

单项选择题
通过物理法和化学法可以得到所需的纳米薄膜材料,属于物理法制备纳米薄膜材料的是()

A.激光诱导化学气相沉积
B.溶胶-凝胶法
C.金属有机物化学气相沉积
D.磁控溅射法

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