单项选择题

通过物理法和化学法可以得到所需的纳米薄膜材料，属于物理法制备纳米薄膜材料的是（）

A.激光诱导化学气相沉积
B.溶胶-凝胶法
C.金属有机物化学气相沉积
D.磁控溅射法

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单项选择题
直流溅射是利用直流辉光放电产生离子轰击靶材进行溅射镀膜的技术，靶材固定在（）极。

A.阴
B.空
C.阳
单项选择题
真空蒸发制膜中，蒸发源在高温下会放气，所以，在蒸发源通电加热之前，可以（），然后对膜材加热去气。

A.提高真空度
B.提高真空室温度
C.用挡板挡住基片
D.增加蒸发源到基片的距离
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