什么是过刻蚀; 过刻蚀名词解释定义是什么?

【参考答案】

刻蚀薄膜时，晶圆内的刻蚀速率和薄膜厚度并不完全均匀，主刻蚀后，会有少部分的薄膜留下，移除剩余薄膜的过程称为过刻蚀。