什么是PSM移相掩膜; PSM移相掩膜名词解释定义是什么?

【参考答案】

相移掩膜上的电介质层在光刻版上开口部分以间隔的方式形成相移图形，通过没有相移涂敷开口部分的光线，会与通过有相移涂敷开口的......

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