单项选择题

根据扩散系数的定义，其受以下哪个因素的影响最大？（）

A.杂质类型
B.扩散时间
C.杂质激活能
D.温度

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单项选择题
扩散的微观机制包括间隙式扩散和（）。

A.面扩散
B.均匀扩散
C.梯度扩散
D.替位式扩散
多项选择题
氧化硅在集成电路制造中有哪些应用？（）

A.屏蔽层
B.栅氧化层
C.牺牲层
D.衬垫层
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