单项选择题

管式PECVD生产过程中使用哪种化学品（）

A.氢氟酸
B.硝酸
C.盐酸
D.氨气

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

多项选择题
下列哪项是PECVD产生的不良（）

A.黄金片
B.爆花片
C.断栅
D.色差
单项选择题
以下PECVD设备中没有通冷却水的是（）

A.真空泵
B.微波源
C.射频电源
D.机械臂
相关试题