单项选择题

以下PECVD设备中没有通冷却水的是（）

A.真空泵
B.微波源
C.射频电源
D.机械臂

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单项选择题
镀膜时颜色发蓝白，这种颜色的膜厚（）

A.偏薄
B.正常
C.偏厚
D.无法判断
多项选择题
管式PECVD工序监控的过程控制量是（）

A.膜厚
B.方块电阻
C.反射率
D.折射率
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