单项选择题

GNX200B减薄机关闭真空泵的方法：按“（）”键后，在对话框中按“VACUUMUNIT”即可关闭真空泵。

A.EQUIPMENT
B.MAINTENANCE
C.EXTERNAL UNIT
D.HELP

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单项选择题

半自动减薄晶圆时，需要用到的组合键是“（）”。

A.GRINDING+START
B.DRESSING+START
C.SELEGRINDING+START
D.WHEEL SETTING+START

单项选择题

GNX200B减薄机主轴的启动和停止应在10s之内，且主轴空转电流NO1≤（），NO2≤（）。

A.4A、3A
B.4A、4A
C.3A、4A
D.3A、3A

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