名词解释

什么是LPCVD（低压CVD）; LPCVD（低压CVD）名词解释定义是什么?

【参考答案】

在27-270Pa压力下进行化学气相淀积。

<上一题 目录 下一题>
热门 试题

名词解释
什么是APCVD（常压CVD）; APCVD（常压CVD）名词解释定义是什么?
名词解释
什么是化学气相淀积; 化学气相淀积名词解释定义是什么?
相关试题