简答题 合金薄膜沉积中溅射镀膜和蒸发镀膜有何区别？

【参考答案】

由于不同元素的饱和蒸汽压相差较大，最大可达几个数量级，所以蒸发沉积合金薄膜难于保证成分比。而不同元素的溅射产额差别一般不......

(↓↓↓ 点击下方‘点击查看答案’看完整答案 ↓↓↓)