简答题 如何可以根除磁控溅射中的“拉弧”现象？

【参考答案】

采用灭弧电源和脉冲溅射可以达到此目的。前者定时地产生一个反向脉冲进行中和，根除诱因。后者使靶与阳极周期交换位置，能及时中......

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