单项选择题

磁控溅射电磁场是如何分布的？（）

A.电场磁场相互平行，电场垂直于靶表面，磁场垂直于靶表面
B.电场磁场相互垂直，电场垂直于靶表面，磁场平行于靶表面
C.电场磁场相互垂直，电场平行于靶表面，磁场垂直于靶表面
D.电场磁场相互平行，电场平行于靶表面，磁场平行于靶表面

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单项选择题
溅射镀膜有直流二极溅射，射频二极溅射，磁控溅射，IC制造中使用最多的是（）。

A.直流二极溅射
B.射频二极溅射
C.磁控溅射
单项选择题
从下列选项中选出直流二极溅射成膜的正确过程（）。

A.气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上、金属靶产生金属原子
B.金属靶产生金属原子、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上
C.气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子、金属原子沉积在衬底上
D.金属原子沉积在衬底上、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子
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