简答题 列出半导体工艺史上的几个主要工艺，并说明当前的主流工艺是什么，以及该工艺的主要优点？

【参考答案】

主要的半导体工艺：
1960s，Bipolar（双极型）IC工艺；
1970s，NMOS E/D（增......

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