常用的超声变幅杆有（）、（）及（）三种形式。

激光加工设备主要包括电源、（）、（）、（）、（）、冷却系统等部分。 点击查看答案

实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。 点击查看答案