实现超精密加工的技术支撑条件主要包括：（）、（）、（）、（）、高质量的工件材料、超稳定的加工环境条件等。

【参考答案】

超精密加工机理与工艺方法；超精密加工机床设备；超精密加工工具；精密测量和误差补偿