问答题

简答题 什么是表面反应控制?什么是扩散控制?并说明什么情况下生长过程分别为这两种控制,以及这两种控制在生长速率上呈何种反应?

【参考答案】

表面反应控制阶段:SiO2生长的初始阶段,SiO2的生长速率即氧化层生长的快......

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